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半导体匀胶显影机传感器选型推荐应用案例

半导体匀胶显影机传感器选型推荐应用案例

9.14半导体匀胶显影机传感器选型推荐应用案例.png

1、检测晶圆盒有无

产品方案:PJTI-S10N

2、机械手拿出晶圆盒内,检测晶圆有无

产品方案:FF 403+FFRS-310

3、匀胶显影机的主要单元检测晶圆的流程,检测定位

产品方案:FF-403+ FFRE-310

4、晶圆表面水冲洗边缘曝光等功能完成,最后检测

产品方案:BGS-S10N

5、检测气缸磁性开关是否到位

产品方案:FD-14R

6、压力开关控制整台设备气压

产品方案:FKP70BP-010-F3

7、导轨电源

产品方案:FP300D- 24MDA 

8、固态继电器20A,40A直流控制交流

产品方案:WLHJP-22 25A或WLHJP-22 40A 

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王静
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